第20章 光刻机-《开局一座工业园,造出光刻机》


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    “哦!”张帆屁颠屁颠的就小跑到了云凌峰身边,内心还是一热的,他是记者,虽然帮云凌峰说话,但他最重要的还是采访。

    这一声,工部尚书卢风也注意了过来。

    “天龙邸报总台记者,张帆!”云凌峰主动介绍。

    “嗯!”卢风点了点头,便不再关注。

    可这却是将身后的陇西郡郡守,两大城主给羡慕了一番。

    云凌峰亲自介绍,虽然工部尚书没有多说,可就点头示好,就足够了。

    走过身份识别通道。

    前方的景象就豁然开朗。

    只见一个超过一千平米的大型宽敞的空间印入眼前。

    就在所有人的注视之下。

    一台高达三米,有两个工作台,近乎占到一千平米空间一半的位置。

    第一眼看过去,这东西更像是一个方阵矩阵,是一个整体。

    此时工作台并没有运转,组装平台也没有多余的人。

    云凌峰全程参与,瞅着光刻机只剩下自豪的道:“诸位,这,就是光刻机!”

    (上图)

    但就在云凌峰还没有话音未落。

    跟随进来的科学院陈院士,半导体徐院士,研究院刘院士,八零八研究院李院士几人,眼睛都直了。

    如果看到了稀世珍宝一般,越过云凌峰,七个人惊疑不定的杵在了光刻机前。

    都不敢上前触摸,深怕自己的脏手玷污了光刻机,只敢远远的观看。

    “这,这,这就是1纳米光刻机!”

    “我滴天,有生之年能够亲眼见到1纳米光刻机,这辈子,值了!”

    “哈哈哈,我看到了什么,比5纳米光刻机还要精密的透镜组合系统,这究竟是怎么做到的。”

    “曝光系统可分为照明光学系统和投影光学系统,简单来说,就是光源发出一定波长的光线被吸收后,通过反射镜形成所需要的光照方式,照在掩膜上。”

    “掩膜同样可以反射,经过反射后光已经包含了图形信息,通过另一组反射镜投影在晶圆上,实现曝光!”

    “这应该就是传感器系统了,不过传感器的数量,比起5纳米光刻机,足足多了三倍。”

    “云总,我们可以亲眼看到加工晶圆吗?”

    几个最高规格院士,无比振奋的回头目光真挚的盯着云凌峰。

    云凌峰点了点头,让几名技术人员开启了光刻机。

    这需要点时间,需要几个阶段的开启。

    工部尚书卢风也是非常激动的踌躇在地。
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